0512-62583057
BOWMAN A系列 XRF
- 产品描述
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产品规格：
● 元素测量范围：13号铝元素到92号铀元素
● X射线管：50 W W靶射线管 15um /7.5um毛细管光学结构(Cr, Mo, Rh ，W等多种靶材可选）
● 探测器：优于135eV分辨率的大面积硅漂移探测器
● 焦距：固定焦距（0.08"）
● 视频放大倍率：140x微观摄像头，9x宏观摄像头，7x 数字放大
● 分析能力：5层（4层+基材）每层分析10种元素，成分分析最多可同时分析25种元素
● 滤波器：4位置一次滤波器
● 数字脉冲处理：4096 多通道数字处理器，自动死时间，逃逸峰校正
● 处理器：英特尔，酷睿i5 13代处理器（4.8GHz），16GB DDR4内存， Windows 11 专业版，64位
● 工作环境：温度介于10°C与40°C之间，相对湿度小于98％，无冷凝
● 重量：1000kg
● 标准可编程XY平台行程：600mm (23.6") x 600mm (23.6") x 100mm (3.9")
● XY平台大小： 560mm (22") x 585mm (23")
● 电源：720W，100～240V; 频率范围为47Hz到63Hz
尺寸：
● 样品仓：1400mm (55”) x 1470mm (58”) x 100mm (4”)
● 外形：1470mm (58") x 1575mm (62") x 1780mm (70")
● 通过SEMI S2 S8认证
主要应用：
● A系列微区XRF是为精确测量半导体和微电子中微小区域特征而设计的。可容纳非常大的PCB面板或任何尺寸的晶圆，实现全样品覆盖和多点可编程自动化测量。
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