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BOWMAN KA系列 XRF
- 产品描述
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产品规格：
● 元素测量范围：13号铝元素到92号铀元素
● X射线管：50 W W靶射线管 15um /7.5um毛细管光学结构(Cr, Mo, Rh ，W等多种靶材可选）
● 探测器：190eV及以上分辨率的大面积固态探测器
● 焦距：固定焦距（0.15"）
● 视频放大倍率：120x微观摄像头，6x宏观摄像头，40x 数字放大
● 分析能力：5层（4层+基材）每层分析10种元素，成分分析最多可同时分析25种元素
● 滤波器：4位置一次滤波器
● 数字脉冲处理：4096 多通道数字处理器，自动死时间，逃逸峰校正
● 处理器：英特尔，酷睿i5 13代处理器（4.8GHz），16GB DDR4内存， Windows 11 专业版，64位
● 工作环境：温度介于10°C与40°C之间，相对湿度小于98％，无冷凝
● 标准可编程XY平台：尺寸：304mm（12"）x 304mm（12"） 行程：304mm（12"）x 304mm（12"）高精度
● 设备部件可满足8inch&12inch晶圆或者6inch&8inch晶圆全自动作业。
● 正面并排双Load Port，，具备FOUP 到位检测、晶圆突片检测以及Mapping功能
● R-θ 3轴单臂洁净机器人，可根据产品类型适配抓手，抓手具备晶圆检测功能，搬运过程中可实时检测wafer是否存在；
● Aligner：非接触光学对中Aligner，支持Notch&Flat晶圆，微吸盘型Chuck支持薄片、翘曲片
● ID读取：采用 OCR读码器支持 SEMI 标准字符码 和 Data Matrix 码；默认正面读码，可选配双面读码；
● 晶圆传片和检测区域均配置离子棒，有效消除ESD和ESA
● Mini-Environment 满足class100或以上；
● 支持厂内 EAP(SECS/GEM)通讯
● 通过SEMI S2 S8认证。
● 支持特殊需求定制
主要应用：
● KA系列XRF支持12inch及12inch之下晶圆表面金属薄膜厚度量测及成分分析。标配了一个多导毛细管光学机构，Capillary Optics @15um/7.5um FWHM，适用于小特征分析
● 伺服电机驱动的可编程平台可实现快速精确的样品定位，平台移动精度低至2μm以下。
● 与所有其他博曼XRF系统一样，K系列符合ASTMB568、ISO3497和IPC-4552标准。
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