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BOWMAN KA Tabletop系列 XRF
- 产品描述
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产品规格：
● 元素测量范围：13号铝元素到92号铀元素
● X射线管：50 W W靶射线管 15um /7.5um毛细管光学结构(Cr, Mo, Rh ，W等多种靶材可选）
● 探测器：190eV及以上分辨率的大面积固态探测器
● 焦距：固定焦距（0.15"）
● 视频放大倍率：120x微观摄像头，6x宏观摄像头，40x 数字放大
● 分析能力：5层（4层+基材）每层分析10种元素，成分分析最多可同时分析25种元素
● 滤波器：4位置一次滤波器
● 数字脉冲处理：4096 多通道数字处理器，自动死时间，逃逸峰校正
● 处理器：英特尔，酷睿i5 13代处理器（4.8GHz），16GB DDR4内存， Windows 11 专业版，64位
● 工作环境：温度介于10°C与40°C之间，相对湿度小于98％，无冷凝
● 标准可编程XY平台：尺寸：200mm（8"）x200mm（8"） 行程：200mm（8"）x 200mm（8"）高精度
● 设备部件可满足6inch&8inch晶圆全自动作业
● 晶圆类型：SiC 、Si
● 料盒类型：150&200mm Open Cassette
● 传片时间：＜33s
● 放片重复定位精度：±0.1mm
● 晶圆对中精度：中心±0.1mm /方向±0.1°
● 通讯接口：TCP/IP
● CDA：0.50~0.70MPa ，10L/Min(ANR), Ф6 Air Tube
● Vacuum：-60~-80kPa(G) ，10L/Min(ANR), Ф6 Air Tube
● 电源要求：单相 AC220V±10%/50Hz, 10A
● SEMI 标准：E1, S2
● Wafer Transfer：2-Axis(X+Z) Unit
● End Effector：6/8 寸兼容超薄真空 I 型抓手 x1
● Aligner：6/8 寸兼容真空型 Aligner x1
● Wafer ID Reader：OCR x1
● Load Port：Open Cassette Stage x1
● 操作界面：22 寸 LCD x1, 7 寸 触摸屏 x1
● 控制单元：Industrial PC x1, PLC x1
● 测量单元：XRF K Opitcsx1
设备功能：
● 料盒在位检测：检测料盒是否放正位置，异常时报警
● 料盒识别：系统能够自动识别 6/8 寸 Open Cassette
● 晶圆 Mapping：对射传感器识别 晶圆 有无/斜插异常 等
● 凸片检测：凸片检测，检测到料盒晶圆凸出异常时报警
● 晶圆读码：读取晶圆 ID
● EAP(*) ：可选配 SECS/GEM 标准协议 与上位系统交互(Job 执 行, Data 上传等)
支持特殊需求定制
主要应用：
● KA Tabletop系列适合需要对6inch&8inch晶圆样品全自动精确测量的客户。标配了一个多导毛细管光学机构，Capillary Optics @15um/7.5um FWHM，适用于小特征分析。
● 伺服电机驱动的可编程平台可实现快速精确的样品定位，平台移动精度低至2μm以下。
● 与所有其他博曼XRF系统一样，KA Tabletop系列符合ASTMB568、ISO3497和IPC-4552标准。
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